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종합정보

보유장비

장비이미지

오스미움코터

Pure Osmium Coater

분류
예약가능여부
불가능
담당부서
장비표준분류
취득방법
1

세부정보

모델명 Pure Osmium Coater 제작사 Meiwafosis
제작국가 일본
구성 및 성능 1) Method : Plasma coating in the negative glow phase of a DC glow discharge
2) Thickness : A few nm
3) Time : 3-6 seconds
4) Area : Whole semisphere sample stage is coated uniformly
2. Sample Stage
1) Sample Mount : 108mm dia.Curved
2) Number of Sample : 32mmdia.specimen mount x 6
15mmdia.specimen mount x 18 10mmdia.specimen mount x 42
사용 예 오스뮴 금속 전용 증착 장치로서 CVD방식을 사용하여 시료에 오스뮴 금속을 증착한다.
장비 설명 본 장치는 오스뮴 금속 전용 증착 장치로서 CVD방식을 사용하여 시료에 오스뮴 금속을 증착한다.
기존 pt au와 다르게 오스뮴 막을 3~5nm정도만 증착하여도 SEM 관측시 10만배 이상에서 charging없이 관측이 가능하다.
사용료
(1h기준, 원)
12,000원
설치장소 벤처산학협력관 B10호

담당자정보

장비담당자 성명 한정수 휴대폰번호
이메일 rbc3716@hoseo.edu