보유장비
터보펌프
Turbo molecular pump
- 분류
- 예약가능여부
- 불가능
- 담당부서
- 장비표준분류
- 취득방법
- 1
세부정보
| 모델명 | STPH2000C | 제작사 | 세영테크 |
|---|---|---|---|
| 제작국가 | 한국 | ||
| 구성 및 성능 |
Nominal diameter ; Inlet : ICF305, Outlet : KF40 Pumping speed ; for N₂ : 2000 l/s, for He : 1800 l/s, for H₂ : 1600 Compression ratio ; for N₂ : >108, for He : 104, for H₂ : 103 Ultimate pressure : 10-9 torr After baking out Throughput : 600 SCCM, 13.3Pa (0.1Torr) Rotational speed : 27000 rpm Start-up time : 7 min. Stopping time 7min. Vibration : <0.01 μm (at 27000 rpm) Bake-out temperature : <120 °C Type of cooling : Spontaneous cooling, Air cooling, Water cooling |
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| 사용 예 | 반도체 및 산업 진공 구축용 | ||
| 장비 설명 | 10-3~10-9 torr 사이의 압력을 통해 빠른 속도로 회전하는 Blade에 의해 기체를 압축하여 배기 | ||
| 사용료 (1h기준, 원) |
0원 | ||
| 설치장소 | 제2공학관 319호 | ||
담당자정보
| 장비담당자 성명 | 한정수 | 휴대폰번호 | |
|---|---|---|---|
| 이메일 | rbc3716@hoseo.edu | ||
