보유장비
반도체장비(웨이퍼검사기)
- 분류
- 예약가능여부
- 불가능
- 담당부서
- 장비표준분류
- 취득방법
- 1
세부정보
| 모델명 | 2┧4┧ Sapphire Wafer | 제작사 | ㈜유텍시스템 |
|---|---|---|---|
| 제작국가 | 한국 | ||
| 구성 및 성능 |
Machine Dimension : 2000 X 1500 X 1600H Work : 2” 사파이어 웨이퍼 Cassete : 2", 10매 수납 EMS Switch , Door Interlock : EMS Switch , Door Interlock Utility : Main Power : 3Phars , 220V Air : 6 kg/㎠ |
||
| 사용 예 | 웨이퍼 가공 | ||
| 장비 설명 |
Features(일반적인 사항, 특징, 특색등 기술) - Sapphire Wafer 전면의 Scratch, Particle, Pore, Edge Chip, 후면의 Stain 불량의 자동 검출 - 2", 4" Sapphire Wafer에 대응 - 전체 검사 후 Defect 예상지역 리뷰 |
||
| 사용료 (1h기준, 원) |
130,000원 | ||
| 설치장소 | 벤처산학협력관 103 | ||
담당자정보
| 장비담당자 성명 | 한정수 | 휴대폰번호 | |
|---|---|---|---|
| 이메일 | cjh13@hoseo.edu | ||
