보유장비
주사전자현미경(FIB)
Focused Ion Beam
- 분류
- 예약가능여부
- 가능
- 담당부서
- 장비표준분류
- 광학·전자 영상 ▷ 현미경
- 취득방법
- 1
세부정보
| 모델명 | LYRA 3 XMH | 제작사 | TESCAN |
|---|---|---|---|
| 제작국가 | 체코 | ||
| 구성 및 성능 |
해상도 : In High Vaccum Mode (SE) : 1.2nm at 30KV (SEM) , 5nm at 30KV(FIB) Magnification: 3 X at 1,000,000 X (SEM) 150 X to 1,000,000 X (FIB) Coincidence Point : WD = 9mm(SEM), FIB WD = 12mm(FIB) |
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| 사용 예 |
TEM 측정 시편제조, 소자제작, 단편관찰 및 3D Fabrication 전자제품 및 디스플레이 부품 등 정밀 시료 관찰 |
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| 장비 설명 | 매우 가늘게 집속한 이온 빔을 시료표면에 주사(scanning)하여 발생한 전자/ 이온을 검출하여 현미경상을 관찰하거나 시료표면을 가공하는 용도 | ||
| 사용료 (1h기준, 원) |
0원 | ||
| 설치장소 | |||
담당자정보
| 장비담당자 성명 | 한정수 | 휴대폰번호 | 010-5035-3716 |
|---|---|---|---|
| 이메일 | rbc3716@hoseo.edu | ||
